Contact Now
Please Leave Us A Message
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Model No: Xenon Difluoride CAS: 13709-61-0
Jenis pembayaran: L/C,T/T,Paypal
Xenon Difluoride CAS: 13709-61-0 XEF2 99,9% 3N untuk etsa semikonduktor
Xenon difluoride terurai dalam larutan netral atau alkali, dan relatif stabil dalam larutan asam. Larutan berair memiliki bau pedas. Uap xenon difluoride tidak berwarna dan memiliki bau busuk yang memuakkan. Dalam industri elektronik, XEF2 sering digunakan sebagai gas etsa untuk silikon. Karena reaksi kimia antara XEF2 dan silikon adalah reaksi spontan, XEF2 memiliki selektivitas yang sangat tinggi dalam proses etsa silikon. Dalam proses etsa silikon oleh XEF2, gas XEF2 dengan bebas menyebar ke permukaan substrat silikon, dan bereaksi secara kimia dengan atom silikon terluar untuk menghasilkan xe gas dan sif4 gas, korosi silikon direalisasikan.
Parameter produk
|
Xenon difluoride（XeF2）≥ |
Vol.% |
99.9 |
|
Kalium（K）≤ |
mg/kg |
0.18 |
|
Calcium（Ca）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Sodium（Na）≤ |
mg/kg |
0.70 |
|
Magnesium（Mg）≤ |
mg/kg |
0.12 |
|
Aluminum（Al）≤ |
mg/kg |
0.17 |
|
Zinc（Zn）≤ |
mg/kg |
0.30 |
|
Iron（Fe）≤ |
mg/kg |
1.21 |
|
Plumbum（Pb）≤ |
mg/kg |
0.07 |
|
Cuprum（Cu）≤ |
mg/kg |
0.05 |
|
Chromium（Cr）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
（Mn）≤ |
mg/kg |
0.04 |
|
Manganese（Mo）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Nickel（Ni）≤ |
mg/kg |
0.83 |
|
Phosphorus（P）≤ |
mg/kg |
0.14 |
Aplikasi
Xenon difluoride adalah sejenis fluridizer selektif, yang banyak digunakan dalam persiapan fluorida anorganik dan sintesis organik, tetapi hanya dalam fase gas dan larutan non-air yang dapat digunakan sebagai fluridizer, dan hanya dalam larutan air yang dapat digunakan sebagai oksidan. Selain itu, XEF 2 biasanya digunakan sebagai gas etsa silikon dalam industri elektronik.
Kemasan 、 Penyimpanan
Xenon Difluoride adalah senyawa yang stabil dan dapat disimpan dalam wadah nikel atau silinder aluminium aluminium untuk waktu yang lama. Untuk memenuhi berbagai persyaratan lembaga penelitian ilmiah dan perusahaan, spesifikasi pengemasan termasuk 100g, 500g, 1kg, 2kg dan 5kg dll. Spesifikasi kemasan khusus dapat disesuaikan sesuai dengan kebutuhan pengguna. Xenon difluoride harus disimpan dalam ruang penyimpanan yang teduh dan berventilasi, dipisahkan dari bahan kimia makanan oksidan 、 logam alkali, dijauhkan dari sumber api.
Kategori Produk : Bahan kimia elektronik semikonduktor > Bahan etsa semikonduktor/wafer
Mobile Site
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.